機種選定方法 問題原因対策 ゴム（NBR／導電性NBR）に クラック（ヒビ、亀裂等）が 入った ・オゾン環境で使用している。 ・イオナイザを使用している。 ※押当て、使用真空圧力が高い等により、早 期に現象が発生し易くなる。 使用環境の見直しを行う。 使用材料の見直しを行う。 吸着跡対策パッドを使用し たが、早期に先端部が摩耗 する。 （吸着跡が付く） クリーン度が高いワークを吸着した場合、滑 り現象が発生し難い状態となり、パッド先端 部に負荷（衝撃）がかかる。 ・フッ素樹脂焼付パッド ・クリーンアタッチメント を使用する。 吸着跡対策パッドを使用し たが、吸着跡が付く。 ・使用目的が違う。 （跡が、変形による跡であった） ・装置取付時によるパッドの汚れ（洗浄不 足）、使用環境における埃等 ワークに付着した跡を確認する。 1）ワーク変形（しわ）による跡。 パッド径、形状、材質、真空エジェクタ（吸込流量）等 の見直しを行う。 2）ゴムが磨耗したことによる跡。 パッド径、形状、材質、真空エジェクタ（吸込流量）等 の見直しを行う。 3）成分移行による跡。 吸着跡を、布、ウエス等で拭き（溶剤を使用しない）と り、吸着痕が消えた（薄くなった）場合は、パッドが汚 れたことが考えられるため洗浄を行う。 カタログ記載の「吸着跡対策パッド」の洗浄方法を参照。 896-1 ZK2 ZQ ZR ZA ZX ZM ZMA ZL ZH ZU ZYY ZYX ZP3 ZP2 ZP ZPT ZPR ZP2V SP ZCUK AMJ AMV ZH -X185 関連 機器 ZFA ZFB ZFC XT661 A