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ワーク パッド 真空圧力:P1 ●ワークのコンダクタンスがわかる場合の、漏れ量の求め方 漏れ量 QL=55.5×CL     QL : 漏れ量L/min(ANR)     CL : ワークとパッド間の隙間および、ワークの開口部のコンダクタンス[(dm3(/ s・bar)]) ●吸着テストによる漏れ量の求め方 下図の様にエジェクタ、パッド、真空ゲージを用いて、エジェクタで吸着させます。 この時の真空圧力P1を読み取り、使用しているエジェクタの流量特性グラフより吸込流量を求め、これをワークの漏れ量とします。 ●計算式により、真空エジェクタ・真空切換弁のサイズを求める方法 吸着応答時間を達成させるための平均吸込流量 最大吸込流量   Qmax=(2〜3)×QL/min(ANR) 〈選定手順〉 !エジェクタの場合  上記のQmaxより大きい最大吸込流量のエジェクタを選定します。 !直動切換弁の場合 ※上式コンダクタンスCより大きいコンダクタンスのバルブ(電磁弁)を関連機器(P.1404)よりご選定ください。 注1) QL:ワーク吸着時に漏れがない場合は0としてください。 ワーク吸着時に漏れがある場合は、「4. ワーク吸着時の漏れ量の求め方」に従い漏れ量を求めてください。 注2) チューブの配管容積は、8. 資料「チューブ内径別配管容積(選定グラフw)」からも求めることができます。 ワークの種類により、パッドがワークを吸着時にも大気を吸い込み、パ ッド内の真空圧力が低下して吸着に必要な圧力を得られない場合があり ます。 このようなワークを吸着する場合には、ワークからの漏れ量を考慮して エジェクタ、真空切換弁のサイズを選定する必要があります。 例題:供給圧力0.45MPa時においてエジェクタ(ZH07□S)で漏 れのあるワークを吸着した場合、真空ゲージの圧力が−53kPaを 示した。この場合のワークからの漏れ量を求めます。 〈選定手順〉 ZH07DSの流量特性グラフより−53kPaの場合の吸込流量を求 めると、5 L/min(ANR)となります。(A→B→c)  漏れ量≒吸込流量5L/min(ANR) Q :平均吸込流量L/min(ANR) V :配管容積(L) T1 :吸着後の安定した圧力Pvの63%に到達する時間(sec) T2 :吸着後の安定した圧力Pvの95%に到達する時間(sec) QL: ワーク吸着時の漏れ量L/min(ANR)…(注1) コンダクタンス C= Q m a x [ (dm3(/ s・bar)] 55.5 Q=  +QL T2=3×T1 V×60 T1 ZH07BS, ZH07DS 排気特性流量特性供給圧力{0.45MPa} 3 真空エジェクタ・真空切換弁の選定方法 4 ワーク吸着時の漏れ量の求め方 機種選定方法 884