●真空パッドの選定手順 ●真空パッド選定の際のポイント 　A. 理論リフト力 　B. 真空パッドにかかる、せん断力とモーメント ●リフト力と真空パッド径の求め方 　q理論リフト力の求め方 ●真空パッドの形状 ●真空パッドの材質 ●ゴム材質と特性 ●ゴム材質識別 ●バッファの有無 ●ワークに応じた対応例 ●真空パッドの耐久性 ●計算式により、真空エジェクタ・真空切換弁のサイズを求める方法 ●ワークのコンダクタンスがわかる場合の、漏れ量の求め方 ●吸着テストによる漏れ量の求め方 ●供給弁（切換弁）作動後の真空圧力と応答時間の関係 ●計算式により、吸着応答時間を求める方法 ●選定グラフにより、吸着応答時間を求める方法 ●安全対策 ●真空用機器選定上のご注意 ●真空エジェクタ、ポンプと真空パッドの個数 ●真空エジェクタ選定、使用上のご注意 ●真空エジェクタの供給圧力 ●真空発生のタイミングと吸着確認 　A. 真空を発生させるタイミング 　B. 吸着確認について 　C. 真空圧力スイッチの設定圧力 ●真空機器におけるダスト処理 ●半導体チップの搬送 ●選定用グラフ ●真空用機器用語 ●真空吸着システムにおける問題点の対応策（トラブルシューティング） ●不適合事例 ●真空パッドの交換時期について 1 真空吸着方式の特長P.878 3 真空エジェクタ・真空切換弁の選定方法P.884 4 ワーク吸着時の漏れ量の求め方P.884 5 吸着応答時間の求め方P.885 6 真空用機器選定上の注意事項と当社からの提案P.887 7 真空用機器の選定例P.891 8 資料P.892 2 真空パッドの選定方法P.878 CONTENTS 真空用機器 機種選定方法 877 ZK2 ZQ ZR ZA ZX ZM ZMA ZL ZH ZU ZYY ZYX ZP3 ZP2 ZP ZPT ZPR ZP2V SP ZCUK AMJ AMV ZH -X185 関連 機器 ZFA ZFB ZFC XT661