P.1224 P.1234 P.1235 P.1236 P.1240 P.1246 P.1249 P.1253 P.1255 P.1264 P.1252 ガラス基板 ZP2/ZP Series アダプタ／バッファ 適応パッド一覧 ZP2 Series 取付用アダプタ品番 ZP Series 取付用アダプタ品番 ZP2 Series アダプタAss'y品番 パッド側接続ねじサイズ !M5×0.8 !M6×1 !M8×1.25 !R1/8 !Rc1/8 !G1/8 !NPT1/8 ― ZPシリーズ 共通アダプタ ZP Series アダプタAss'y品番 ZP2 Series バッファAss'y品番 ZP Series バッファAss'y品番 形状 H バリエーション パッド 径 アダプタ形状ページ o40, o50 o63, o80 o100, o125 高荷重パッド ●高荷重形（平形リブ付） 　ブラウン管、自動車ボディ等、ワーク質量が重 い場合や大きい場合に最適。 ●高荷重形（ベロウ形） ・ワークの吸着面が湾曲している場合。 ・ワークの質量が重い場合やワークが大きい 場合に最適。 高荷重形 （平形リブ付） HB 高荷重形 （ベロウ形） バリエーション備考ページ 20×25 （ID×OD：PCD 22.5） ディスク吸着用真空パッド ●リング形状のワーク（CD，DVDなど）の吸着に使用。 ●パッド本体にベロウズ機構を付加。 　ワークへの衝撃を緩和する。 パネル固定用真空パッド ●パネル、ガラス基板等のステージ吸着固定に使用。 ●ベロウズ機構によりワーク傾きに追従。 サクションアシストバルブ ●ワークがなくても真空圧力の低下 を抑制。 ●ワーク変更による切換作業が不要。 ●エジェクタ1台で複数の真空パッド を使用可能。 用途別〈パッド／アダプタ〉 真空用機器 真空パッド ZPシリーズバリエーション／用途別〈パッド／アダプタ〉 パッド 形状 記号 872