形状 U パッド 形状 記号 バリエーション パッド 径 アダプタ形状ページ o6, o7, o8 o5, o6 o6, o8 o3, o4 o0.8, o1.1 o5, o6, o11 o14, o18 o20 小形パッド ノズルパッド 薄形パッド ZPシリーズ 共通アダプタ ZPシリーズ 共通アダプタ o2, o3.5, o4 o5, o6, o8 o10, o15 o2, o4, o6 o8, o15 o2, o3, o4 o6, o8 低寸法仕様パッド ― ●平形 一般的なワーク吸着用。 ワーク吸着面が平面で変形等のない場合。 ●平形リブ付 ワークが変形しやすい場合。 ワーク離脱を確実に行いたい場合。 ●薄形 ワークが変形しやすい場合。 ●ベロウ形 吸着面が斜めのワークの場合。 ●高さ方向の省スペース化に対応。 ●小型部品（ICチップ等）の 　吸着に対応。 ●薄いシート、ビニール等のやわら かいワーク吸着に対応。吸着時の 「しわ」「ワーク変形」を抑えます。 平形 平形 ノズル形 薄形 （スカート部） C 平形リブ付 UT 薄形 B MU EU AU AN UT MT J MB ZJ ベロウ形 ベロウ形 （多段タイプ） o6, o9, o10 o14, o15 o16, o25 o30 ベロウ形 o4, o6, o8 o10, o15 o20 o2, o4, o5 o6, o40, o46 ベロウパッド ZPシリーズ共通アダプタ ― ●バッファ（スプリング方式） を使用するスペースがない 場合。吸着面が斜めのワー クの場合。 薄形 （溝付） o10, o15 o20, o25 o30 フラットパッド ●腰のあるシート、フィルム等の吸 着に対応。吸着時のワークフラッ ト面の変形を抑えます。 単体アダプタ付 単体 単体 単体アダプタ付 単体アダプタ付 単体 単体 単体 単体 単体アダプタ付 単体 単体 単体アダプタ付 P.1176 P.1177 P.1180 P.1183 P.1184 P.1185 P.1186 P.1188 P.1189 P.1191 真空用機器 真空パッド ZP2シリーズバリエーション 868