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/(s·bar)]/b/Cv/VQZ100/1.0/0.35/0.25/0.35 (標準) 0.9 (高圧タイプ、 高速応答タイプ)/-100kPa/VQZ200/3.0/0.40/0.80/VQZ300/4.1/0.36/1.0/特長/
外部パイロット仕様にて真空での使用が可能。
アルミ一体形マニホールド・DIN レール搭載可能。
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/VQZ100...