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/(s·bar)]/b/Cv/VQ100/標準 タイプ/0.083/0.28/0.021/1.0 0.5 (低ワットタイプ)/-100kPa/大流量 タイプ/0.045/0.28/0.012/特長/
高速で安定した応答性。
銅系不可仕様。
豊富な電気結線方式。
真空使用可能。
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/VQ100