真空用レギュレータ

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電・空レギュレータ ITV
PDFをダウンロード PDF 1  (455.7kB)	シリーズ/CAD 管接続口径 設定圧力（MPa） ITV0000  ワンタッチ管継手内蔵 φ4、φ5/32 0.001〜0.1 0.001〜0.5 0.001〜0.9 −1〜−100kPa 特長 電気信号で流量や圧力を無段階制御、静電塗装 多段階制御をアナログ制御

真空レギュレータ IRV
PDFをダウンロード PDF 1  (487.4kB)	シリーズ/CAD 管接続口径 設定圧力 (kPa) IRV1000  1/8 -100〜-1.3 IRV2000  1/4 IRV3000  1/4, 3/8, 1/2 特長 真空ラインの圧力制御が可能

電子式真空レギュレータ ITV
PDFをダウンロード PDF 1  (187.9kB)	シリーズ/CAD 管接続口径 設定圧力 (MPa) ITV209□  1/4 -1.3〜-80 特長 電気信号で真空圧力を無段階制御