恒温水循環装置

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冷凍式サーモクーラ HRG
エコノミータイプチラー (三相電源)


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PDF 1  (2.2 MB)
シリーズ/
CAD		 設定温度範囲 冷却能力 温度安定性 冷却方式 循環液
HRG  5〜35℃ 1〜15kW ±1.0℃／
±0.5℃		 空冷冷凍式
水冷冷凍式		 清水
脱イオン水 (純水)
エチレングリコール水溶液
特長
  • 空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。
  • レーザ加工機／分析装置／LCD製造装置／金型温調など幅広い用途に実績多数。

冷凍式サーモクーラ HRGC
エコノミータイプチラー (単相電源)


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シリーズ/
CAD		 設定温度範囲 冷却能力 温度安定性 冷却方式 循環液
HRGC  5〜35℃ 1〜5kW ±1.0℃／
±0.5℃		 空冷冷凍式
水冷冷凍式		 清水
脱イオン水 (純水)
エチレングリコール水溶液
特長
  • 空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。
  • 金型温調／レーザ加工機／分析装置／LCD製造装置など幅広い用途に実績多数。
  • 海外輸出用装置に最適 (単相200〜230V)
    UL規格適合、CEマーキング。

冷凍式サーモチラー HRZ
高機能チラー


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シリーズ/
CAD		 設定温度範囲 冷却能力 温度安定性 冷却方式 循環液
HRZ  -20〜40℃ 1〜15kW ±0.1℃ 水冷冷凍式 フッ素化液
清水
脱イオン水 (純水)
エチレングリコール水溶液
20〜90℃
-20〜90℃
特長
  • 高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロセス装置に実績多数。
  • 各種安全規格に対応。
  • UL, SEMI規格適合、CEマーキング。

冷凍式サーモチラー HRZ
高機能チラー (インバータ搭載)


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シリーズ/
CAD		 設定温度範囲 冷却能力 温度安定性 冷却方式 循環液
HRZ  -20〜90℃ 1.8〜10kW ±0.1℃ 水冷冷凍式 フッ素化液
清水
脱イオン水 (純水)
エチレングリコール水溶液
特長
  • HRZシリーズの高機能に加え、DCインバータコンプレッサ採用で、省エネルギを達成。
  • 広い温度範囲、冷却能力範囲を1台でカバー。
  • イノベーションサイクルの短い半導体装置などに対応し、プロセス条件の変化に柔軟に対応可能。
  • UL, SEMI規格適合、CEマーキング。

水冷却式サーモチラー HRW
高機能チラー (水冷却式)


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シリーズ/
CAD		 設定温度範囲 冷却能力 温度安定性 冷却方式 循環液
HRW  20〜90℃ 2〜30kW ±0.3℃ 水冷却式 フッ素化液
清水
脱イオン水 (純水)
エチレングリコール水溶液
特長
  • 工場内循環水との直接熱交換器。
  • 冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
  • 高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロセス装置に実績多数。
  • UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
  • インバータタイプの選択可能。

ペルチェ式サーモコン HEC
高精度チラー


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PDF 1  (936kB)
シリーズ/
CAD		 設定温度範囲 冷却能力 温度安定性 冷却方式 循環液
HEC  10〜60℃ 230W ±0.01〜
0.03℃		 ペルチェ式
空冷		 清水
140、320、
600、1200W		 ±0.01〜
0.03℃		 ペルチェ式
水冷		 清水
フッ素化液
特長
  • 高精度温調が必要な用途に。
  • ペルチェ素子による、ノンフロン高精度温調機。
  • シンプルな構造で高信頼性。
  • 小型、低振動で装置内への組込みが容易。
  • ワイドな電源電圧に対応可。
  • UL規格適合、CEマーキング。

ペルチェ式サーモ恒温槽 HEB
高精度恒温槽


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PDF 1  (604kB)
シリーズ/
CAD		 設定温度範囲 冷却能力 温度安定性 冷却方式 循環液
HEB  -15〜60℃ 140W ±0.1℃ ペルチェ式
水冷		 清水
フッ素化液
特長
  • ペルチェ素子を使った、高精度温調恒温槽。
  • 小型、低騒音。
  • 独自の撹拌方式により上下温度分布が小さい。

ペルチェ式ケミカルサーモコン HED
薬液用フッ素樹脂温調機


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PDF 1  (724kB)
シリーズ/
CAD		 設定温度範囲 冷却能力 温度安定性 冷却方式 循環液
HED  10〜60℃ 300〜750W ±0.1℃ ペルチェ式
水冷		 脱イオン水 (純水)
薬液
特長
  • ペルチェ素子を使った、薬液の直接温調用熱交換器。
  • フッ素樹脂熱交換器で多様な薬液に対応可。
  • UL規格適合、CEマーキング。

 
 
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