スリットバルブ
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スリットバルブ
XGT
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シリーズ
使用圧力範囲（Pa）
使用流体
ゲートサイズ
(高さ×幅) (mm)
作動圧力 (MPa)
XGT
大気圧〜1×10
-6
不活性ガス系の真空
32×222
46×236
50×336
0.4〜0.6
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hvslit.htm
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