センサ (クリーンルーム用)

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2色表示式高精度デジタル圧力スイッチ ZSE/ISE


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シリーズ 設定圧力範囲
10-ZSE30・ISE30  ZSE30 (真空圧・低圧):-101 〜101kPa
ISE30 (正圧):-0.1 〜1.0MPa
特長 2色表示で見やすさ向上

高精度デジタル圧力スイッチ ZSE/ISE


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シリーズ 設定圧力範囲
10-ZSE40・ISE40  ZSE40 (真空圧): 10〜-101.3MPa
ISE40 (正圧):-0.1 〜1.0MPa
特長 高精度・高分解能

汎用流体用高精度デジタル圧力スイッチ ZSE/ISE


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シリーズ 設定圧力範囲
10-ZSE50F・ISE50  ZSE50F (連成圧): -100〜100kPa
ISE50 (正圧):-0.1 〜1MPa
特長 幅広い流体の圧力検出可能

汎用流体用高精度デジタル圧力スイッチ ZSE/ISE


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シリーズ 設定圧力範囲
10-ZSE60F・ISE60  ZSE60F (連成圧): -100〜100kPa
ISE60 (正圧):-0.1 〜1MPa
特長 半導体製造設備のロードロック(予備室)チャンバーなどの大気圧確認に好適なデジタル圧力スイッチです

バックライト付デジタル圧力スイッチ ZSE/ISE


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シリーズ 設定圧力範囲
10-ZSE5B・ISE5B  -100〜100kPa
-0.1〜1MPa
特長 幅広い流体の圧力検出可能

バックライト付デジタル圧力スイッチ ZSE/ISE


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シリーズ 設定圧力範囲
10-ZSE6B・ISE6B  -100〜100kPa
-0.1〜1MPa
特長 半導体製造設備のロードロック(予備室)チャンバーなどの大気圧確認に好適なデジタル圧力スイッチです

プレッシャセンサ PSE530


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シリーズ 設定圧力範囲
10-PSE530  -100〜101kPa
0〜101kPa
0〜-101kPa
0〜1MPa
特長 高精度・高分解能

小形空気圧用圧力スイッチ PSE540


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シリーズ 設定圧力範囲
10-PSE540  0〜1MPa
0〜-101kPa
-100〜100kPa
特長 小形空気圧用圧力センサ

微差圧センサ PSE550


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シリーズ 設定圧力範囲
10-PSE550  0〜2kPa
特長 微差圧センサ

汎用流体用圧力センサ PSE560


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シリーズ 設定圧力範囲
10-PSE560  0〜1MPa
0〜-101kPa
-100〜100kPa
0〜500kPa
特長 汎用流体用圧力センサ

多チャンネルコントローラ PSE200


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シリーズ 設定圧力 (差圧) 範囲
10-PSE200  -101〜101kPa
-10〜101kPa
10〜-101kPa
-0.1〜1MPa
特長 1つのコントローラで4台分の圧力管理が可能

圧力センサコントローラ PSE300


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シリーズ 設定圧力 (差圧) 範囲
10-PSE300  -101〜101kPa
10〜-101kPa
-10〜100kPa
-0.1〜1MPa
-50〜500kPa
-0.2〜2kPa
特長 応答速度:1ms
設定圧力分解能:1/1000
縦、横密着取付可能

 
 
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