センサ (クリーンルーム用)

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2色表示式高精度デジタル圧力スイッチ ZSE/ISE
PDFをダウンロード PDF 1  (809kB)	シリーズ 設定圧力範囲 10-ZSE30・ISE30  ZSE30 (真空圧・低圧):-101 〜101kPa ISE30 (正圧):-0.1 〜1.0MPa 特長 2色表示で見やすさ向上

高精度デジタル圧力スイッチ ZSE/ISE
PDFをダウンロード PDF 1  (481.3kB)	シリーズ 設定圧力範囲 10-ZSE40・ISE40  ZSE40 (真空圧): 10〜-101.3MPa ISE40 (正圧):-0.1 〜1.0MPa 特長 高精度・高分解能

汎用流体用高精度デジタル圧力スイッチ ZSE/ISE
PDFをダウンロード PDF 1  (358.4kB)	シリーズ 設定圧力範囲 10-ZSE50F・ISE50  ZSE50F (連成圧): -100〜100kPa ISE50 (正圧):-0.1 〜1MPa 特長 幅広い流体の圧力検出可能

汎用流体用高精度デジタル圧力スイッチ ZSE/ISE
PDFをダウンロード PDF 1  (358.4kB)	シリーズ 設定圧力範囲 10-ZSE60F・ISE60  ZSE60F (連成圧): -100〜100kPa ISE60 (正圧):-0.1 〜1MPa 特長 半導体製造設備のロードロック（予備室）チャンバーなどの大気圧確認に好適なデジタル圧力スイッチです

バックライト付デジタル圧力スイッチ ZSE/ISE
PDFをダウンロード PDF 1  (348.2kB)	シリーズ 設定圧力範囲 10-ZSE5B・ISE5B  -100〜100kPa -0.1〜1MPa 特長 幅広い流体の圧力検出可能

バックライト付デジタル圧力スイッチ ZSE/ISE
PDFをダウンロード PDF 1  (348.2kB)	シリーズ 設定圧力範囲 10-ZSE6B・ISE6B  -100〜100kPa -0.1〜1MPa 特長 半導体製造設備のロードロック（予備室）チャンバーなどの大気圧確認に好適なデジタル圧力スイッチです

プレッシャセンサ PSE530
PDFをダウンロード PDF 1  (348.2kB)	シリーズ 設定圧力範囲 10-PSE530  -100〜101kPa 0〜101kPa 0〜-101kPa 0〜1MPa 特長 高精度・高分解能

小形空気圧用圧力スイッチ PSE540
PDFをダウンロード PDF 1  (378.9kB)	シリーズ 設定圧力範囲 10-PSE540  0〜1MPa 0〜-101kPa -100〜100kPa 特長 小形空気圧用圧力センサ

微差圧センサ PSE550
PDFをダウンロード PDF 1  (368.6kB)	シリーズ 設定圧力範囲 10-PSE550  0〜2kPa 特長 微差圧センサ

汎用流体用圧力センサ PSE560
PDFをダウンロード PDF 1  (358.4kB)	シリーズ 設定圧力範囲 10-PSE560  0〜1MPa 0〜-101kPa -100〜100kPa 0〜500kPa 特長 汎用流体用圧力センサ

多チャンネルコントローラ PSE200
PDFをダウンロード PDF 1  (757.8kB)	シリーズ 設定圧力 (差圧) 範囲 10-PSE200  -101〜101kPa -10〜101kPa 10〜-101kPa -0.1〜1MPa 特長 1つのコントローラで4台分の圧力管理が可能

圧力センサコントローラ PSE300
PDFをダウンロード PDF 1  (655.4kB)	シリーズ 設定圧力 (差圧) 範囲 10-PSE300  -101〜101kPa 10〜-101kPa -10〜100kPa -0.1〜1MPa -50〜500kPa -0.2〜2kPa 特長 応答速度：1ms 設定圧力分解能：1/1000 縦、横密着取付可能