クリーンガスフィルタ

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クリーンガスフィルタ SFA
カートリッジタイプ／ディスク形
PDFをダウンロード PDF 1  (737.3kB)	シリーズ 使用圧力 ろ過精度 SFA100・200・300  Max. 1.0MPa (真空：1.3×10-6kPa) 0.01μm 特長 エレメント交換が可能なカートリッジタイプ

クリーンガスフィルタ SFB
カートリッジタイプ／ストレート形
PDFをダウンロード PDF 1  (737.3kB)	シリーズ 使用圧力 ろ過精度 SFB100・200  Max. 1.0MPa (真空：1.3×10-6kPa) 0.01μm 特長 エレメント交換が可能なカートリッジタイプ

クリーンガスフィルタ SFB
ディスポーザブルタイプ／ストレート形
PDFをダウンロード PDF 1  (737.3kB)	シリーズ 使用圧力 ろ過精度 SFB300  Max. 1.0MPa (真空：1.3×10-6kPa) 0.01μm 特長 半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ

クリーンガスフィルタ SFC
ディスポーザブルタイプ／多段ディスク
PDFをダウンロード PDF 1  (737.3kB)	シリーズ 使用圧力 ろ過精度 SFC100  Max. 1.0MPa (真空：1.3×10-6kPa) 0.01μm 特長 半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ