クリーンガスフィルタ

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クリーンガスフィルタ SFA
カートリッジタイプ/ディスク形



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シリーズ 使用圧力 ろ過精度
SFA100・200・300  Max. 1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
特長 エレメント交換が可能なカートリッジタイプ

クリーンガスフィルタ SFB
カートリッジタイプ/ストレート形



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シリーズ 使用圧力 ろ過精度
SFB100・200  Max. 1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
特長 エレメント交換が可能なカートリッジタイプ

クリーンガスフィルタ SFB
ディスポーザブルタイプ/ストレート形



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シリーズ 使用圧力 ろ過精度
SFB300  Max. 1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
特長 半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ

クリーンガスフィルタ SFC
ディスポーザブルタイプ/多段ディスク



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シリーズ 使用圧力 ろ過精度
SFC100  Max. 1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
特長 半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ

 
 
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cgasfilter.htm