空気圧補助機器 (クリーンルーム用)

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エアフィルタ AF
PDFをダウンロード PDF 1  (256kB)	シリーズ 管接続口径 ろ過度 (μm) 10-AF20〜60  1/8, 1/4, 3/8, 1/2, 3/4, 1 5 21-AF20〜60

ミストセパレータ AFM
PDFをダウンロード PDF 1  (245.8kB)	シリーズ 管接続口径 ろ過度 (μm) 10-AFM20〜40  1/8, 1/4, 3/8, 1/2, 3/4 0.3 21-AFM20〜40

マイクロミストセパレータ AFD
PDFをダウンロード PDF 1  (245.8kB)	シリーズ 管接続口径 ろ過度 (μm) 10-AFD20〜40  1/8, 1/4, 3/8, 1/2, 3/4 0.01 21-AFD20〜40

レギュレータ AR
PDFをダウンロード PDF 1  (256kB)	シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa) 10-AR20〜60  1/8, 1/4, 3/8, 1/2, 3/4, 1 0.05〜0.85 21-AR20〜60

逆流機能付レギュレータ AR
PDFをダウンロード PDF 1  (256kB)	シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa) 10-AR20K〜60K  1/8, 1/4, 3/8, 1/2, 3/4, 1 0.05〜0.85 21-AR20K〜60K

フィルタレギュレータ AW
PDFをダウンロード PDF 1  (276.5kB)	シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa) ろ過度 (μm) 10-AW20〜40  1/8, 1/4, 3/8, 1/2, 3/4 0.05〜0.85 5 21-AW20〜40

逆流機能付フィルタレギュレータ AW□K
PDFをダウンロード PDF 1  (276.5kB)	シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa) ろ過度 (μm) 10-AW20K〜40K  1/8, 1/4, 3/8, 1/2, 3/4 0.05〜0.85 5 21-AW20K〜40K

ミストセパレータレギュレータ AWM
PDFをダウンロード PDF 1  (276.5kB)	シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa) ろ過度 (μm) 10-AWM20〜40  1/8, 1/4, 3/8,1/2 0.05〜0.85 0.3 21-AWM20〜40

マイクロミストセパレータレギュレータ AWD
PDFをダウンロード PDF 1  (276.5kB)	シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa) ろ過度 (μm) 10-AWD20〜40  1/8, 1/4, 3/8,1/2 0.05〜0.85 0.01 21-AWD20〜40

直動精密減圧弁 ARP
PDFをダウンロード PDF 1  (327.7kB)	シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa) 10-ARP3000  1/4 0.005〜0.3 21-ARP3000  特長 設定感度0.001MPa 直動式・ブリードタイプ (リリーフ機能付)

精密レギュレータ IR
PDFをダウンロード PDF 1  (337.9kB)	シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa) 10-IR1000  1/8 0.005〜0.2 0.005〜0.4 0.005〜0.8 10-IR2000  1/4 10-IR3000  1/4, 3/8, 1/2 0.01〜0.2 0.01〜0.4 0.01〜0.8 特長 テンションコントロール 接圧コントロール 設定感度：0.2% F.S.以内 繰返性±：0.5% F.S.以内

真空レギュレータ IRV
PDFをダウンロード PDF 1  (604.2kB)	シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa) 10-IRV1000  1/8 -100〜-1.3 10-IRV2000  1/4 10-IRV3000  1/4, 3/8, 1/2 特長 真空ラインの圧力制御が可能

クリーンレギュレータ SRH
PDFをダウンロード PDF 1  (276.5kB)	シリーズ リリーフ機構 管接続口径 設定圧力 (MPa) SRH  ノンリリーフ 1/8, 1/4, 3/8, 1/2 低圧タイプ：0.01〜0.2 高圧タイプ：0.05〜0.7 リリーフ 1/8, 1/4, 3/8, 1/2 特長 コンタミネーション管理されたステンレスレギュレータ

精密クリーンレギュレータ SRP
PDFをダウンロード PDF 1  (297kB)	シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa) SRP  M5, 1/8 低圧タイプ：0.005〜0.2 高圧タイプ：0.01〜0.4 特長 高精度・低消費流量のステンレスレギュレータ