空気圧補助機器 (クリーンルーム用)

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エアフィルタ AF


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シリーズ 管接続口径 ろ過度 (μm)
10-AF20〜60  1/8, 1/4, 3/8,
1/2, 3/4, 1
5
21-AF20〜60 

ミストセパレータ AFM


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シリーズ 管接続口径 ろ過度 (μm)
10-AFM20〜40  1/8, 1/4, 3/8,
1/2, 3/4
0.3
21-AFM20〜40 

マイクロミストセパレータ AFD


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シリーズ 管接続口径 ろ過度 (μm)
10-AFD20〜40  1/8, 1/4, 3/8,
1/2, 3/4
0.01
21-AFD20〜40 

レギュレータ AR


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シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa)
10-AR20〜60  1/8, 1/4, 3/8,
1/2, 3/4, 1
0.05〜0.85
21-AR20〜60 

逆流機能付レギュレータ AR


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シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa)
10-AR20K〜60K  1/8, 1/4, 3/8,
1/2, 3/4, 1
0.05〜0.85
21-AR20K〜60K 

フィルタレギュレータ AW


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シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa) ろ過度 (μm)
10-AW20〜40  1/8, 1/4, 3/8,
1/2, 3/4
0.05〜0.85 5
21-AW20〜40 

逆流機能付フィルタレギュレータ AW□K


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シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa) ろ過度 (μm)
10-AW20K〜40K  1/8, 1/4, 3/8,
1/2, 3/4
0.05〜0.85 5
21-AW20K〜40K 

ミストセパレータレギュレータ AWM


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シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa) ろ過度 (μm)
10-AWM20〜40  1/8, 1/4, 3/8,1/2 0.05〜0.85 0.3
21-AWM20〜40 

マイクロミストセパレータレギュレータ AWD


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シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa) ろ過度 (μm)
10-AWD20〜40  1/8, 1/4, 3/8,1/2 0.05〜0.85 0.01
21-AWD20〜40 

直動精密減圧弁 ARP


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PDF 1  (327.7kB)
シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa)
10-ARP3000  1/4 0.005〜0.3
21-ARP3000 
特長 設定感度0.001MPa
直動式・ブリードタイプ (リリーフ機能付)

精密レギュレータ IR


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PDF 1  (337.9kB)
シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa)
10-IR1000  1/8 0.005〜0.2
0.005〜0.4
0.005〜0.8
10-IR2000  1/4
10-IR3000  1/4, 3/8, 1/2 0.01〜0.2
0.01〜0.4
0.01〜0.8
特長 テンションコントロール
接圧コントロール
設定感度:0.2% F.S.以内
繰返性±:0.5% F.S.以内

真空レギュレータ IRV


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シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa)
10-IRV1000  1/8 -100〜-1.3
10-IRV2000  1/4
10-IRV3000  1/4, 3/8, 1/2
特長 真空ラインの圧力制御が可能

クリーンレギュレータ SRH


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シリーズ リリーフ機構 管接続口径 設定圧力 (MPa)
SRH  ノンリリーフ 1/8, 1/4, 3/8, 1/2 低圧タイプ:0.01〜0.2
高圧タイプ:0.05〜0.7
リリーフ 1/8, 1/4, 3/8, 1/2
特長 コンタミネーション管理されたステンレスレギュレータ

精密クリーンレギュレータ SRP


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PDF 1  (297kB)
シリーズ 管接続口径 設定圧力 (MPa)
SRP  M5, 1/8 低圧タイプ:0.005〜0.2
高圧タイプ:0.01〜0.4
特長 高精度・低消費流量のステンレスレギュレータ

 
 
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